靶磁控溅射仪六大常见问题点及解决对策

靶磁控溅射仪在真空状态下采用电弧放电和辉光放电工作原理，金属和非金属工件的表面镀有金氮化钛，黑碳化钛，彩色氮氧化钛等，也可以涂防腐膜（如AL，Cr不锈钢和TiN等）和耐磨膜，膜层牢固地结合到基板上。溅射工艺用于涂覆以改善膜的粘附性，可重复性，密度和均匀性度等特点，适用于塑料制品，陶瓷，树脂，水晶玻璃制品，工艺品，塑料手机壳，电子产品，建材等行业，具有良好的发展前景。

　　靶磁控溅射仪处理六个常见问题及改进对策：

　　1、漆膜为黑色和黑色

　　（1）真空度小于0.67Pa。真空度应提高到0.13-0.4Pa。

　　（2）氩气的纯度小于99.9％。应该用纯度为99.99％的氩气代替。

　　（3）充气系统正在泄漏。应检查充气系统以消除空气泄漏。

　　（4）底漆未充分固化。底漆的固化时间应适当延长。

　　（5）镀层零件的脱气量太大。应当进行干燥和密封处理。

　　2、膜层的表面光泽较暗

　　（1）底漆固化不良或变质。底漆的固化时间应适当延长或应更换底漆。

　　（2）溅射时间过长。应适当缩短。

　　（3）溅射成膜速度过快。溅射电流或溅射电压应适当降低

　　3、薄膜颜色不均匀

　　（1）底漆喷涂不均匀。底漆的使用方法应加以改进。

　　（2）薄膜层太薄。适当地增加溅射速度或延长溅射时间。

　　（3）灯具设计不合理。夹具设计应加以改进。

　　（4）电镀零件的几何形状太复杂。镀层零件的旋转速度应适当提高。

　　4、薄膜起皱并破裂

　　（1）底漆喷涂得太厚。应控制在7-10tan厚度范围内。

　　（2）涂料的粘度太高。应适当减少。

　　（3）蒸发速度太快。应该适当放慢速度。

　　（4）膜层太厚。溅射时间应适当缩短。

　　（5）镀层部分的温度太高。镀层部件的加热时间应适当缩短。

　　5、薄膜表面上有水印，指印和灰尘颗粒。

　　（1）清洁后，镀层部件不带电。应加强镀前处理。

　　（2）水滴或唾液溅到电镀部件的表面。要加强文明生产，操作人员要戴kz。

　　（3）涂上底漆后，用手触摸镀层部分，在表面上留下指纹。严禁用手触摸镀层部件的表面。

　　（4）油漆中有颗粒。油漆应过滤或更换。

　　（5）静电除尘器发生故障，或者在喷涂和固化环境中出现颗粒灰尘。应更换集尘器，并保持工作环境清洁

　　6、靶磁控溅射仪膜的附着力差

　　（1）镀层零件的脱脂和脱脂未完成。应加强镀前处理。

　　（2）真空室不干净。应当清洁真空室。值得注意的是，在装卸靶材过程中，严禁用手或不洁物体接触磁控管源，以确保磁控管源具有较高的清洁度，这对于提高结合力非常重要。电影的措施之一。

　　（3）夹具不干净。夹具应清洁。

　　（4）底漆选择不当。应更换油漆。

　　（5）溅射工艺条件控制不当。溅射工艺条件应改善。