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三通道混气CVD系统的使用注意事项
三通道混气CVD系统的使用注意事项
更新时间:2023-12-23 点击次数:1095
三通道混气CVD系统
壳体结构:
双层壳体结构并带有风冷。
保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维,可以减少热量的损失,环保节能。
内炉膛表面涂有美国1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命可开启式,更换炉管方便。
温控系统:
三个精密温度控制器,可独立控温PID控制方式,通过PWM固体继电器。
30段可编程智能温度调节仪,并可设置30段升降温程序。
带有过热和断偶保护功能。
使用注意事项:
炉管内气压不可高于0.02MPa。
由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa会更加精确安全。
当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态。
进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。
石英管的长时间使用温度<1100℃对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)。
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