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5英寸近距离蒸发镀膜炉
简要描述：

OTF-1200X-RTP-II-5是一款快速热处理炉，其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。5英寸近距离蒸发镀膜炉针对于热蒸发或CSS（Close Spaced Sublimation）镀膜实验，其镀膜面积可达到5“x5“。

  • 产品型号：（CSS）OTF-1200X-RTP-II-5
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2024-12-02
  • 访  问  量：2528
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产品分类CLASSIFICATION

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详细介绍

品牌其他品牌产地类别国产
应用领域化工,电子

5英寸近距离蒸发镀膜炉技术参数：

炉体结构和真空腔体

  • 采用两个温度控制器，分别控制顶部和底部两组加热元件。安装有浮子流量计，可向真空腔体中通入气体

  • 真空腔体为一高纯的石英管，其尺寸为：11" OD/10.8" ID x 9" Hmm

真空法兰

  • 真空法兰为316不锈钢制作

  • 顶部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口

  • 底部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口

  • 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封，体内真空度可达10-2 torr.

加热元件和载样台

  • 由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部

  • 两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节，调节范围为：2-50mm

  • 为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率，加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中，（不锈钢壳体采用316不锈钢制作）

  • 采用导热率较高的氮化铝陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作为载样台，以达到较好的加热均匀性

  • 底部载样台上可放入5"x5"的石墨坩埚来盛放蒸发原料

  • 此款仪器使用时需要配用一循环水冷机（16L/m)

温控系统

  • 两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区，可设置30段升降温程序

  • 每个温控系统都带有超温和断偶保护

  • PC通讯接口，软件可安装，可将控温程序和温度曲线导入到电脑中

  • 控温仪表操作视频

工作温度

  • 高工作温度为：800℃

  • 两个加热区之间的大温差为300℃

加热和冷却速率

  • 加热速率> 8ºC/s（每个温区单独加热）

  • 冷却速率> 10ºC/s (600 - 100ºC)

热电偶

两个K型热电偶，安装在顶部和底部，都与氮化铝陶瓷片相接触

工作电压

208 - 240VAC, 单相,（需要20A的空气开关）

功率

3000W

可选

  • 实验时需要一个真空泵，可与本公司选购真空泵

  • 采用机械泵可使腔体内的真空度达到< = 10E-2 torr

  • 若要使真空腔体内达到更洁净的工作环境，可换购无油泵

  • 也可选购质子流量计混气系统，将实验所需气体安比列混好后导入到真空腔体中

质保

一年质保期，终生维护（不包括密封圈、加热元件和石英管）


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