OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的双炉体滑动上海添时科学仪器有限公司官网，炉管为Φ50×1400mm的石英管，并配有不锈钢密封法兰，仪器高温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动，实现对原材料的蒸发/升华，及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热，大升温速率为100℃/min.同时可选择电动滑轨、质量流量计（MFC）控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。
技术参数
炉体结构
 | - 两个炉体在一个滑动轨道上，炉体高工作温度1200℃
- 每个炉体加热区为200mm,恒温区为60mm
- 一个滑动轨道安装在两炉体底部，可手动推动炉体滑动
- 仪器中配有不锈钢密封法兰
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总功率 | 2.5KW |
电压 | AC 208-240V 单相, 50/60 Hz, （需要20A的空气开关） |
高工作温度 | 1200℃ |
连续工作温度 | 1100℃ |
加热&冷却速率
 | 加热速率: 15°C/sec (RT - 150°C); 10°C/sec (150°C - 250°C); 7°C/sec (250°C - 350°C); 4°C/sec (350°C - 500°C); 3°C/sec (350°C - 550°C); 2°C/sec (550°C - 650°C);
1°C/sec (650°C - 800°C);
0.5°C/sec (800°C - 1000°C); | 冷却速率: 15°C/sec (1000 - 950°C); 10°C/sec (950°C - 900°C); 7°C/sec (900°C - 850°C); 4°C/sec (850°C - 750°C); 2°C/sec (750°C - 600°C);
1.5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0.5°C/sec (400°C - 300°C); | 注意: 大加热和冷却速率是通过炉体滑动来实现的，将炉体加热到目标温度，然后滑动炉体到样品位置来实现快速加热。对样品加热后，滑动炉体，使样品暴露在加热区外，来实现快速冷却 |
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加热区长度 | 每个炉体的加热区为200mm |
恒温区 | 60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C) |
加热元件 | 掺钼铁铬铝合金 |
炉管 | - 高纯石英管
- 尺寸：50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL
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温度控制系统 | - 两个炉体都采用PID方式来调节温度，可设置30段升降温程序。
- 控温仪表操作视频
- 设置有超温和断热偶报警
- 包括2个K型热电偶（已安装在炉体上）
- 可选:可选择控制模块MTS-02，可使用电脑来控制炉体的升降温
  （点击图片查看详细资料）
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真空法兰 | - 仪器中包含一对不锈钢密封法兰，法兰上安装有机械压力表
- 可选购KF25接口的法兰（提高抽气速率)，数显真空计
 
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滑轨长度 | 1200mm |
真空度 | - 10E-5 torr（采用分子泵）
- 10E-2 torr（采用机械泵）
- 可在本公司选购真空泵
 
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可选 | - 可选择电动滑轨，更好的控制快速升降温速率
- 1-9通道质量流量计（MFC）控制的供气系统
- 100W-500W的射频等离子源
- 这些模块与上海添时科学仪器有限公司官网配合可搭建起等离子增强的TCVD系统
  
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尺寸 | 1500 x 380 x 620 mm（炉体＋滑轨） |
净重 | 约80kg |
质保期 | 一年质保期，终身维护（不包括炉管、密封圈和加热元件） |
质量认证 | - CE认证
- 所有电器元件（输入电压>24V）都通过了UL/MET/CSA认证
- 本公司保证此设备通过TUV(UL61010）或CSA认证（需额外出认证费用）
    
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使用注意事项 | - 炉管内气压不可高于0.02MPa
- 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全
- 进入炉管的气体流量需小于200SCCM
- 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
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产品型号：TCVD--OTF-1200X-S2-5
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