详细介绍
输入功率 |
AC 110V , 50/60 Hz, < 200W |
输出频率 |
13.56 MHz |
功率 |
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等离子腔体 |
尺寸:6" dia x 6.5" l 石英腔体 |
真空泵和阀 |
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通入的气体 |
腔体中可以通入多种气体,如N2, Ar, Air ,也可以通入多种混合气体,以满足实验需要 ,不可以通入可燃性气体进入等离子腔体中 |
可选配件 |
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可选真空计 |
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外型尺寸 |
11" H x 18" W x 9" D |
细节图 |
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质保期 |
一年质保 ( 不包括石英腔体和密封圈) |
质量认证 |
CE Certified
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