详细介绍
主要特点 | 采用气体作为清洗介质,避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。 |
可短时间内*清洗掉有机污染物。 | |
清洗程度可达到分子级。 | |
可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。 | |
清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌. | |
样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻. | |
广泛应用于光学,光电子学,电子学,材料科学,生命科学,高分子科学,生物医学,微观流体学等领域. | |
参数 | 电压:AC220V 10A |
消耗功率:<500W(包括真空泵) | |
RF电源:输出功率100W,输出频率13.56MHz | |
腔体:Φ190mm×98mm | |
石英管:Φ180mm×55mm,壁厚7mm | |
内腔:Φ165mm×55mm | |
清洗电极:Φ120mm | |
样品台:Φ150mm,有效尺寸Φ140mm | |
样品台与电极间距:15mm-50mm可调 | |
抽气管:Φ12mm | |
极限真空度:0.1Pa | |
工作真空度:60Pa-500Pa | |
气路数量:2路(选装) | |
流量控制器数量:1、2 | |
流量显示仪:2通道 | |
气路接口:Φ6mm | |
加热样品台:Φ140mm,加热样品温度RT-600℃±1℃(选装) | |
冷却水压力:0.2KPa-0.4KPa | |
工作环境:温度5℃-35℃,湿度<80%(相对湿度)不结露,海拔高度0-2000m | |
产品规格 | 尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵) |
重量:20kg(不含真空泵) | |
可选配置 | 加热样品台 |
流量控制器(量程10、50、100,多可增加2个通道) |
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