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当前位置：首页  >  产品中心  >  合肥科晶总代理  >  薄膜制备全套设备及解决方案  >  -GSL-1800X-ZF4高真空蒸发镀膜仪

高真空蒸发镀膜仪
简要描述：

GSL-1800X-ZF4是一款高真空的蒸发镀膜仪，特别适合蒸镀一些对氧较敏感的金属膜，如Ti, Al 和Au等，也可蒸镀各种氧化物材料。此款蒸镀仪安装有4个蒸镀加热头.对于实验研究，这是一款镀膜效果理想并且性价比较高的实验设备。

  • 产品型号：-GSL-1800X-ZF4
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2024-12-02
  • 访  问  量：4889
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详细介绍

技术参数

 

电压
  • 输入：208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 单相  ( < 3200W )
  • 输出： 0 - 8VAC （可调）大电流： 400A （可调）
  • 大功率：4000W（包括真空泵）

 

真空腔体
  • 不锈钢腔体：280mm ID. x 375 mm H，腔体内壁做了电抛光处理
  • 有一个150mm的观察窗口（采用无氧铜密封圈密封）
  • 一个RF-150法兰，便于放入样品。
  • 一个KF-40法兰,可与真空泵相连接
  • 四个CF-35法兰，便于安装真空计、电极和其他用途备用

 

真空泵

 

 
  • 仪器中包括一台高抽速的涡轮分子泵和前级泵
  • 前级泵抽速：600L/S
  • 真空度：5.0x10-6 torr（泵开启后40分钟）
  • 极限真空度：5.0x10-7  torr（烘烤温度为60-80℃）
  • 漏气率：5.0x10-7Pa./S

 

蒸发加热源 样品台
  • 5个水冷电极安装在腔体底部，可支持4个钨加热舟
  • 每个钨舟上面安装有可移动的挡板，所以实验时可以防止各物料之间的污染，样品台安装在真空腔体顶部，直径为150mm

  •  

    样品台可以旋转和加热，旋转速度0-20rpm，加热高温度600℃

     
  • 蒸发源与样品台的距离为250mm

 

测厚仪
  • 一个高分辨度的薄膜测厚仪安装在腔体内部
  • 测量精度为：1.0Å

 

循环水冷机
  • 仪器使用过程中需要通冷却水，为了节约用水，强烈建议使用循环水冷机
  • 所需水流量>15L/min

 

   

 

 

控制单元
  • 真空、厚度和输入电源控制全部集合在一个控制盒内
  • 控制单元和真空腔体独立分开，以便于操作

 

外形尺寸

 

L600mm× W860mm× H1500mm

 

净重

 

600kg

 

质保

 

一年质保期，终生维护

 

质量认证

 

CE认证

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