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近距离蒸发镀膜 （ CSS）炉
简要描述：

OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸发上海添时科学仪器有限公司官网，专门针对于用PVD或CSS法来制作薄膜。此款上海添时科学仪器有限公司官网炉管直径为11“ OD，炉管内载样盘可放置3“ 的圆形或2“x2“的方形基片。加热元件为两组红外灯管，分别安装在腔体的顶端和底部，其升温速率高达20?C/S 。温控系统为PID30段程序化控制，控温精度为+/-1?C。仪器面板上带有RS485接口，若仪表内配有控温软件，就可将升温程序和曲线导出

  • 产品型号：
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2024-12-02
  • 访  问  量：3952
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产品分类CLASSIFICATION

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详细介绍

技术参数

 

真空腔体
  • 腔体为一高纯石英管
  • 尺寸：  11" OD x 10.8"ID x 9" H 

 

真空法兰
  • 真空法兰材质为316不锈钢制作
  • 顶部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口
  • 底部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口
  • 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封，通过机械泵其腔体内真空度可达10-2 torr，用分子泵其真空度可达到10-5 torr
  • 两个法兰都可以通过手动操作进行上下移动
  • 一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可精确测量腔体内真空度

 

                         

 

混气系统

 

可以选择两路的混气系统于此款上海添时科学仪器有限公司官网搭配使用（本公司生产多路浮子和多路质子混气系统）
                     

 

 

 

 

加热元件和载样台
  • 由两组IR红外灯管进行加热
  • 额定功率800 W     总功率：1600W 
  • 为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上
  • 一个3"的基片载样台安装腔体顶部
  • 紧贴顶部加热元件上安装有一氮化铝基片（3"Dia x0.5mm Thick ），使其仪器使用时样品基片上的温度更加均匀
  • 3"的石墨坩埚可以放在底部加热元件上来盛装蒸发料 

       

 


热电偶

 

 

 

 

 

 

 

两个K型热电偶分别安装在上下法兰上

 

温控系统
  • 两个控温系统都为PID30段程序化控温
  • 可以选购PC控温软件，将温度程序设置和温度曲线导入电脑中

                       

 

工作温度
  • 两个加热区域单独工作的高温度：      <= 650ºC
  • 两个加热区域大温差:  <= 350 ºC

 

加热和冷却速率
  • 加热速率:   > 8 ºC /S
  • 冷却速率:   > 10  ºC /S  ( 600 - 100oC)

 

电源

 

208 - 240VAC, 单相, （需20A的空气开关）

 

可选配件

 

 

 

 

本公司出售真空泵和水冷系统

 

 

 

 

                   

 

 

质保期       

 

 

一年质保期  (不包括炉管、密封圈和加热元件损耗件 )
质量认证

 

  CE 

 

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