当前位置:首页 > 产品中心 > 合肥科晶总代理 > 薄膜制备全套设备及解决方案 > VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪--VTC-600-2HD
详细介绍
技术参数
结构 | |
输入电源 |
|
溅射电源 |
|
磁控溅射头 |
也可以根据自己的要求选择2个射频溅射头或3个射频溅射头,订购前需于本公司销售人员 |
真空腔体 |
|
载样台 |
|
气体流量控制器 |
|
真空泵系统 | 配有一套分子泵系统(德国制作),采用一键式操作 |
薄膜测厚仪 |
|
外形尺寸 | L1300mm× W660mm× H1200mm |
重量 | 160 kg |
质保期 | 一年质保期,终生维护 |
产品咨询