全自动/轨道式去胶剥离机
适用于8英寸及以下规格晶圆的去胶剥离工艺（Liftoff工艺）
不锈钢柜体,触摸式人机交互界面
耐腐蚀透明观察窗,配置专业排风及排废系统
8寸以下化合物（钽酸锂等）全自动去胶剥离工艺处理
适合声表滤波器（SAW）行业产能要求适中的批量产线
可选配MES协议转换模块

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