半柜式/全柜式清洗机
适合于8英寸及以下晶圆的单片清洗工艺
根据客户要求可选配高压、兆声、二流体等多种清洗工艺
不锈钢半柜式、柜式柜体,触摸式人机交互界面
耐腐蚀透明观察窗,配置专业排风及排废系统
可配置清洗液、氮气温控功能
可配置增压泵高压清洗
高精度清洗臂,可灵活设置清洗工艺

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