PECVD-8-16是一款平行板电容式PECVD系统，适用于中小式生产和实验，可放置12片6英寸基片。此系统组成：8英寸石英管上海添时科学仪器有限公司官网，最高温度为1100℃，一个批量型石墨舟（可放12片基片），1000W射频电源，和一个4通道混气系统。此设备特别适用于太阳能电池和二维材料，扩产前测试实验。

炉体结构：

•高纯氧化铝纤维作为炉膛材料

•采用三可加热区，可达到600mm长的恒温区

•外径304mm.内径203mm的石英管,带有不锈钢密封法兰

•一个电动滑轨，上面装载石墨舟和样品

•高纯石墨舟，可转载12片圆片或方形片，尺寸可达6英寸

• 1000W RF（13.5MHz）等离子电源

• 4通道混气系统

•可选购真空泵（油泵或无油泵）

电源要求：

•208-240VAC，单相，50/60Hz

• 9KW

石英管，法兰

•外径304mm×内径203mm×长度1300mm

•设备包含一根石英管，可购买备用石英管

•配有SS304不锈钢法兰，带有KF40真空接口&阀门和进气口&出气口

•安装有一套双滑轨，直流电机驱动法兰和样品舟移动进出石英管

石墨舟：

•石墨舟采用高纯石墨（产自日本）制作，带有RF电极

•12个插槽（4×3）可装载样品尺寸6英寸×6英寸×0.5mm厚度或直径6英寸圆片

•客户可定制石墨舟（4×4或5×4）

上海添时科学仪器有限公司官网:

•加热元件：NiCrAl合金丝

•加热区：3个加热区（300mm十300mm十300mm）

•恒温区：600mm(+/- 2°C, 3个温区设置同样的温度)

•工作温度：400-1100℃

•最大加热冷却速率：10℃/min

退温系统：

•3块3000型欧陆（Eurotherm）仪表，可设置24段升降温段

•3根K型热电偶

•控温精度：+/- 0.1°c

•包含软件和PC界面模块

射频等离子电源：

•输出功率：20-1000W（可调节，稳定性± 1%）

• RF频率：13.56MHz

•匹配方式：自动匹配

•冷却：空气冷却

•噪音：<50dB

•输入电源：110-240VAC，50/60Hz

供气系统：

•4个质量流量计安装在一个移动架内，控制精度：±1.5%FS，重复精度:±0.2%FS

•控制1： 0~100SCCM

•控制2： 1~199SCCM

•控制3： 1~199SCCM

•控制4： 1~499SCCM

•触摸屏控制，设置各种参数

•安装有RS485接口，用于通过PC远程控制

•每个工位的流量控制范围可按客户要求定制

真空泵，真空计：

•一个防腐型数显真空计，测试范围可达到10-5torr

•设备使用需要真空泵，可在本公司选购各种真空泵

净重:

500kg

质保：

一年保质期，针对电器和机械部分，不包括加热元件，石英管，密封圈