为使化学反应能在较低的温度下进行，常利用等离子体的活性来促进反应，这种方法称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)。加热炉设备的内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可提高设备的加热效率，同时也可延长设备的使用寿命。

外型尺寸：

长*宽*高  2080mm*700mm*1520mm

管炉规格：

外径：100mm

内径：96mm×长：1800

加热炉主要参数：

•最高温度：1200℃

•额定工作温度：1100℃

•推荐升温速率:≤10℃/min

•加热区长度：L总：440mm（双温区包括隔环)

温区一：200mm

温区二：200mm

•加热炉额定功率：3KW

•滑动方式：电动控制

•滑动最大行程：600mm

•电压：单相AC 208 - 240V, 50HZ

温控系统：

•欧陆EPC3000仪表

•模糊PID控制和自整定调节功能

•智能化24段可编程控制

•带过电流过电压保护漏电保护

•电气元件及电缆，冷压端子均符合UL认证标准

•控温精度：±0.1℃

•控温：K型热电偶两根

•通讯协议：modbus RTU

软件控制：

•可视化运行状态监控

•温控系统，气路系统，真空系统，射频系统，滑动炉体，开合炉体，压力控制，全自动化，

•数据记录、过程记录集成一体

•“预制工作流程，一键自动运行

•具有恒压功能，可以设定气体流量和恒定压力

压力控制：采用TRP-12（抽速3L/s）的双旋真空泵，在总进气量为100-150sccm，管内压力为 100-130pa，如总进气量高于150sccm时，请更换抽速更高的泵，测试为总进气量为1L/min（满足四路质量流量计全开状态时），使用VRD-60泵（抽速18L/s），最高真空为120-130pa（满足起辉条件）,可在任意供气量下设定任意气压值（该气压值需大于搭配泵体的最大真空值），气压值可自动稳定

新式快捷法兰：

可方便快速取放物料

射频电源：

• 500W射频电源

•0--500W可调（稳定性±1%）

•射频频率：13.56MHZ

•自动匹配 风冷

•噪音<50dB

•输入电压：AC108-250V

供气系统：

•四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）

•流量范围：一路0-100 sccm

二路0-200 sccm

三路0-200 sccm

四路0-500 sccm

注：接入供气系统的气源需搭配减压阀，将气压降至2mpa以下

真空系统：

•搭配TRP-12的双旋真空泵（抽速3L/s）（总进气量小于150sccm，该泵可以达到等离子发生真空度）

•搭配TRP-60双旋真空泵（抽速10L/s）（总进气量1L/min，该泵可以达到等离子发生真空度）

• KF25卡箍及波纹管用于连接法兰与真空泵

•真空度可达10^-2torr

备注：

注：采用氩气高于射频功率200w情况下，需特殊说明，设备需要特殊改造及测试；(有法兰过热情况)