OTF-1200X-1I-4CV-PE-SL是一款滑动式双温区PECVD 上海添时科学仪器有限公司官网系统。该系统包含等离子射频电源，80mm 0D1800mm L的滑动式双温区上海添时科学仪器有限公司官网，4通道质量流量供气系统和机械泵机组，可用于生长纳米或石墨烯材料。

产品型号：OTF-1200X-Ⅱ-4CV-PE-SL-UL
厂商性质：代理商
更新时间：2024-12-04
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详细介绍

品牌	其他品牌	产地类别	国产
应用领域	环保,能源,电子

产品特点：

•射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度；

•滑轨式可快速加热和快速冷却;

•两个加热区，温度梯度最大可达 200°c;

•可在温度范围较大的条件下制备材料，如碳、Zn0纳米管或纳米线及单层石墨烯等。

加热炉参数：

•最高温度：1200°C（<30min），连续工作温度：1100℃；

•两个PID温度控制器及30段可编程温控系统；

•输入功率：208-240V，单相，最大功率：3KW；

•高纯氧化铝纤维保温层可以最大限度降低能耗；

•炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管。

射频电源：

真空系统：

•·采用TRP-12的双旋真空泵；

• KF25卡箍及波纹管用于连接上海添时科学仪器有限公司官网与真空泵；

•真空度可达10-2Torr。

供气系统（可选）：

•客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）;

•流量范围：

•电压：208-240V， AC， 50/60Hz；

•气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;

•不锈钢针阀用于手动控制气体进出；

• PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。

产品尺寸和重量：

设备总体尺寸：2200mmL 800mmW 1500mmH

净重：610kg

注意：

采用氩气高于射频功率200W情况下，需特殊说明：设备需要特殊改造几测试，（有法兰过热情况）

质保：

一年保质期，终身维护，不包括炉管，硅胶密封圈和加热元件

因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

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