当前位置:首页 > 产品中心 > 上海添时科学仪器有限公司官网 > PECVD系统 > OTF-1200X-PESDSF-50双炉体滑动PECVD系统-循环手套箱
详细介绍
品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
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应用领域 | 环保,能源,电子 | 电源 | AC220,50Hz |
手套箱特点:
•真空法兰在手套箱的左边,与PECVD系统的石英管连接;
•两个炉体在一个滑轨上,可通过炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果!
加热炉参数:
•连续工作温度:1100℃
•两个炉体都可设置30段升降温程序
•高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率延长炉膛使用寿命)
•电源:AC220,50Hz 最大功率:3KW
手套箱参数:
•带有除水系统:保持水含量<2ppm
•真空法兰在手套箱的左边,与PECVD系统的石英管连接
射频电源:
真空系统:
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