当前位置:首页 > 产品中心 > 合肥科晶总代理 > 钙钛矿太阳能电池实验室制备线 > PCE-808.5英寸等离子清洗机
详细介绍
品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 环保,化工,电子 |
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最大射频功率 | 100 W |
8.5英寸等离子清洗机 | PCE-80是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 8.5 "dia x 12“"L的石英腔体,采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等)。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。 |
8.5英寸等离子清洗机产品特点 | 最大射频功率: 100 W |
射频电源: ●射频功率可在 0 - 100W之间调节 ●频率: 13.56 MH ●可以与本公司工作人员联系将原有电源升级为300W或500W的射频电源,来进行等离子刻蚀或等离子灰化等实验 等离子腔体: ●8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体 ●铝制折叠式法兰来进行真空密封 ●法兰上有一个直径为60mm的观察窗口 ●此设备*屏蔽射频辐射,零射频泄漏 通入气体: ●等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定) ●不能使用易燃qi体及腐蚀性气体。 可选: ●可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片 ●可选购2-4通道质子或浮子混气系统 ●空气系统模块 | 控制面板: ●通过6" 彩色触摸屏,可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等. ●仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计,可精确地控制进气流量 真空泵(选配): ●仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵 ●极限真空度为50mTorr(参考值,具体请点击) ●真空泵模块 外形尺寸: 620 L ×600 W ×600 H, mm 相关应用: ●请自行根据您的应用测试最佳的等离子功率 ●对于等离子清洗,根据工艺,通常保持射频功率在10 - 30W之间 ●对于等离子刻蚀,根据工艺,通常保持射频功率在35 - 80W之间 ●可根据要求提供300W高功率射频电源 |
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