详细介绍
品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 医疗卫生,环保,化工,生物产业,电子 |
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产品名称 | VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪 | |
产品型号 | VTC-600-2HD | |
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水) 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带Ø6mm双卡套接头)及减压阀 4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通风装置:需要 | |
主要参数 | 1、电源电压:220V 50Hz 2、功率:<2KW(不含真空泵) 3、极限真空度:9.0×10-4Pa 4、样品台加热温度:RT-500℃,精度±1℃(可根据实际需要提升温度) 5、靶枪数量:2个(可选配其他数量) 6、靶枪冷却方式:水冷 7、靶材尺寸:Ø2″,厚度0.1-5mm(因靶材材质不同厚度有所不同) 8、直流溅射功率:500W;射频溅射功率:300W。(靶电源种类可选,可选择两个直流电源,也可选择两个射频电源,或选则一个直流一个射频电源) 9、载样台:Ø140mm,可根据客户需求选配加装偏压功能,以实现更高质量的镀膜。 10、载样台转速:1rpm-20rpm内可调 11、工作气体:Ar等惰性气体 12、进气气路:质量流量计控制2路进气,一路为100SCCM,另一路为200SCCM。 | |
产品规格 | 1、主机尺寸:500mm×560mm×660mm | |
标准配件 | 1直流电源控制系统1套 2射频电源控制系统1套 3膜厚监测仪系统1套 4分子泵(德国进口)1台 5冷水机1台 6冷却水管(Ø6mm)4根 | |
可选配件 | 金、铟、银、铂等各种靶材 |
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