详细介绍
品牌 | 其他品牌 | 仪器种类 | 通用型 |
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价格区间 | 面议 | 产地类别 | 国产 |
应用领域 | 医疗卫生,化工,生物产业,能源,电子 |
产品名称 | PCE-6小型等离子清洗机 | |
产品型号 | PCE-6 | |
主要参数 | 1、电源:AC220V 50/60Hz | |
2、输出功率:7.2W、10.2W、29.6W | ||
3、真空泵功率:<500W | ||
4、总功率:<600W | ||
5、射频频率:3.0MHz,功率3档可手动调节 | ||
6、等离子腔体:高纯石英腔体Ø160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Ø45mm的观察窗 | ||
7、真空泵:120L/min,直连式双旋真空泵 | ||
8、极限真空度:50mtorr | ||
9、通入气体:可通入多种气体来产生等离子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等(根据材料性质选定) | ||
清洗及蚀刻 | ||
产品规格 | 尺寸:400mm×300mm×300mm | |
重量:10.2kg | ||
可选配件 | 1、2"-6"石英舟(盛放基片) | |
2、2-4通道质子或浮子混气系统 |
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