PECVD等离子体增强气相沉积是一款1200℃等离子增强混合物理化学气相沉积（HPCVD)双温区回转炉系统源（带自动匹配功能）、上游原位蒸发舟、4通道质子流量计控制系统及性能优异的真空泵组成。此于无机复合粉末的热处理及粉末表面的均匀包覆（如：制备锂离子电池阴极粉末的导电涂层等）。

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