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VTC-1RF是一款小型台式单靶等离子溅射仪(射频磁控型),配有1英寸的磁控等离子溅射头和射频(RF)等离子电源,此款设备主要用于制作非导电薄膜,特别是一些氧化物薄膜。对于新型非导电薄膜的探索,它是一款廉价并且高效的实验帮手。
OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸发上海添时科学仪器有限公司官网,专门针对于用PVD或CSS法来制作薄膜。此款上海添时科学仪器有限公司官网炉管直径为11“ OD,炉管内载样盘可放置3“ 的圆形或2“x2“的方形基片。加热元件为两组红外灯管,分别安装在腔体的顶端和底部,其升温速率高达20?C/S 。温控系统为PID30段程序化控制,控温精度为+/-1?C。仪器面板上带有RS485接口,若仪表内配有控温软件,就可将升温程序和曲线导出
GSL-1800X-ZF4是一款高真空的蒸发镀膜仪,特别适合蒸镀一些对氧较敏感的金属膜,如Ti, Al 和Au等,也可蒸镀各种氧化物材料。此款蒸镀仪安装有4个蒸镀加热头.对于实验研究,这是一款镀膜效果理想并且性价比较高的实验设备。
GSL-1100X-15E是一款小型真空镀膜仪,特别适合蒸镀一些轻金属,如 Al. Mg, 和Li等。同时也可对样品进行镀碳处理,Z大可处理的样品直径为50mm.。
VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪(直流普通型),基片Z大尺寸2英寸,加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材和放置样品的直径是50mm . 旋转样品台,可以依次在同一样品上涂覆三种材料,金靶,银,铜, 它可以与真空泵,不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用.
MSK-AFA-III是一款带有自动烘干功能的小型涂覆机,通过匀速地推动精密制膜器,已达到平滑和均匀的涂覆效果。仪器采用真空吸附来固定衬底,使得涂覆过程中衬底不会起褶,从而使得涂覆更加顺畅。涂覆过后,仪器上盖可对样品进行加热烘干,Z高温度可以达到200℃,控温精度为+/-1°C。此款设备特别适合于固态电解质和锂电池极片的制备。