刻蚀机 适合于8英寸及以下晶圆的单片刻蚀工艺 可选耐腐蚀PP柜体 可按客户需求定制设备规格 全自动摆臂、可配备多路刻蚀液 触摸式人机交互界面,实时显示设备运行状态 可选蚀刻液加热控温及FFU功能 专用排风、排废系统、提高设备的安全性

全自动标准8寸匀胶显影机 适用于2至6英寸晶圆的匀胶显影工艺 最大设备配置:4套匀胶（显影）、10套热（冷）板单元 6寸以下wafer全自动匀胶/显影,烘烤全自动工艺处理 整机适合产能要求较高的批量产线 根据客户工艺需求可加装温湿度控制、离子风棒等模块 可选配MES协议转换模块

全自动标准2-6寸匀胶显影机 适用于2至6英寸晶圆的匀胶显影工艺 最大设备配置:4套匀胶（显影）、10套热（冷）板单元 6寸以下wafer全自动匀胶/显影,烘烤全自动工艺处理 整机适合产能要求较高的批量产线 根据客户工艺需求可加装温湿度控制、离子风棒等模块 可选配MES协议转换模块

轨道式匀胶显影机 适用于8英寸及以下晶圆的匀胶显影工艺 最大设备配置:2套匀胶（显影）单元、4套热（冷）板单元 可选8寸以下多种wafer尺寸全自动匀胶/显影,烘烤工艺处理 整机性价比高,适合产能要求适中的批量产线 根据客户工艺需求可加装等离子风棒等模块 可选配MES协议转换模块

超大型匀胶机 适用于直径450mm-2000mm的非规则重载基底匀胶工艺 可根据客户基片规格及工艺定制设备 不锈钢全柜式柜体,多级安全系统 透明观察窗,配置专业排风及排废系统 可配置自动胶臂滴胶功能 触摸式人机交互界面,可灵活设置100组工艺配方

大型匀胶/显影机 适用于直径450mm-800mm的非规则重载基底匀胶工艺 可根据客户基片规格及工艺定制设备 不锈钢全柜式柜体,多级安全系统 透明观察窗,配置专业排风及排废系统 可配置自动胶臂滴胶功能 触摸式人机交互界面,可灵活设置100组工艺配方