匀烤胶一体机 适用于8英寸及以下晶圆的匀胶烤胶工艺 可选耐腐蚀PP柜体或不锈钢柜体 配置自动供胶系统,根据客户工艺选择供胶方式 触摸式人机交互界面,实时显示设备运行状态 高精度伺服控制系统,满足匀胶工艺要求 可选配去边、背洗、光刻胶温控等功能 专业匀胶腔体,通过气流控制可有效提升工艺指标 可选配置空气净化单元（FFU）

显影机 适用于8英寸及以下晶圆的匀胶工艺 可选耐腐蚀PP柜体或不锈钢柜体 全自动显影摆臂,可实现显影液、去离子水、氮气的自动喷洒及吹干 根据工艺要求可选择柱形、扇形显影喷嘴 高精度伺服控制系统,性能稳定 升降式显影腔体,可有效防止显影液体的飞溅 根据工艺需求可选配显影液控温、FFU等功能

喷胶机适用于8英寸及以下晶圆的自动喷胶工艺 全封闭结构,不锈钢框架、镜面不锈钢面板 高精度旋转加热平台,具有晶圆真空吸附及自动顶升功能 供胶系统采用微小流量供液系统,流速连续平稳,流量精确可调 高精度超声波雾化喷嘴,雾化颗粒均匀,超声波雾化功率可调 触摸式人机交互界面,可实现配方编辑及运行状态监控