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OTF-1200X-1I-4CV-PE-SL是一款滑动式双温区PECVD 上海添时科学仪器有限公司官网系统。该系统包含等离子射频电源,80mm 0D1800mm L的滑动式双温区上海添时科学仪器有限公司官网,4通道质量流量供气系统和机械泵机组,可用于生长纳米或石墨烯材料。
OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑动开启式PECVD系统。此套设备配有等离子射频电源,直径为50mm的开启式上海添时科学仪器有限公司官网(带有真空法兰和连接管道)及机械泵组成。该设备模型可更新为不同类型的PECVD 系统,且设备性价比较为理想
OTF-1200X-50S-PE是一款小型等离子体气相沉积上海添时科学仪器有限公司官网系统(PECVD)。该设备配有等离子射频电源,开启式上海添时科学仪器有限公司官网(带有真空法兰和连接管道)及一个直联式双旋机械泵。此套设备模型可组合为不同类型的PECVD系统,且设备性价较为理想。
为使化学反应能在较低的温度下进行,常利用等离子体的活性来促进反应,这种方法称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)。加热炉设备的内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层,可提高设备的加热效率,同时也可延长设备的使用寿命。
OTF-1200X-80-I-4CV-CMPE-SL是传统PECVD与开发的智能通讯模块组合,可对传统PECVD实现自动化升级可自由搭配各种系统控制组合自定义CVD系统。是一款滑动式双温区PECVD 上海添时科学仪器有限公司官网系统。该系统包含等离子射频电源,100mm OD1800mm L的滑动式双温区上海添时科学仪器有限公司官网,4通道质量流量供气系统和机械泵机组,可用于生长纳米或石墨烯材料。
PECVD-8-16是一款平行板电容式PECVD系统,适用于中小式生产和实验,可放置12片6英寸基片。此系统组成:8英寸石英管上海添时科学仪器有限公司官网,最高温度为1100℃,一个批量型石墨舟(可放12片基片),1000W射频电源,和一个4通道混气系统。此设备特别适用于太阳能电池和二维材料,扩产前测试实验。